世界最高水準の感度で水蒸気透過率を計測・生産性は約8倍

​特長
◆世界最高水準の感度で水蒸気透過率を計測         ※超高真空技術を応用した差圧法により水蒸気透過率E-7g/m2/dayレベルの測定が可能
◆絶対量校正(特許)トレーサビリティの確保、構成による絶対量測定が可能
◆計測準備時間が非常に短い       ※準備期間を２４時間に短縮 / 従来の方式では約１ヶ月
◆ランニングコストの大幅な低減
◆水蒸気以外の各種混合ガスの透過率測定が可能

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1, 世界最高水準の感度で水蒸気透過率を計測　　　
超高真空技術を応用した差圧法（JIS K 7126-1準拠）により実現。
水蒸気透過率10-7g/m2/dayレベルの絶対量測定を実現しました。
超高真空技術を搭載した差圧式測定・バックグラウンドの水蒸気を低減し世界最高水準の感度で水蒸気透過率を計測できます。
通常の測定室壁面には大量の水蒸気が吸着しています。
水蒸気透過率10-5g/m2/dayレベル以下の透過水蒸気の測定には測定室内のバックグラウンド水蒸気の低減が必須です。
加熱ヒータによるベーキングと、２台のターボ分子ポンプを直列に搭載して、排気性能を向上させています。
測定室内のバックグラウンド水蒸気を極限まで低減することにより、10-7g/m2/dayレベルの水蒸気透過率測定が可能です。

一時側ガス：水蒸気 
測定温度：40℃ 
資材：10-6g/m2/day台　
125μmハイバリアフィルム

2, 絶対量校正（特許:6281915号）
産業技術総合研究所で校正された標準コンダクタンスエレメントを使用しています。
標準コンダクタンスエレメントにより、質量分析器の絶対量校正が可能です。
標準コンダクタンスエレメントは質量分析器へ任意の絶対量の水蒸気やガスを導入できます。
質量分析器の絶対量校正を行うことで、信頼性の高い測定が可能になりました。

4, ランニングコストの大幅な低減
従来方式は、試料測定前に試料室に吸着した水分等のアウトガスを除去するために、高価な超高純度窒素によるパージガスを３週間程流す必要があり、
ランニングコストは1件当たり  数十万円になります。
超高真空技術を使った差圧法は、超高純度窒素による連続したパージガスが不要になり、ランニングコストが大幅に低減、装置
​の生産性が大幅に上がります。
生産性の向上により設備、メンテナンス等の運用費が削減されます。

5, 水蒸気以外の各種ガスや混合ガスの透過率測定が可能
四重極質量分析器により水蒸気、酸素、窒素、ヘリウムなど個別のガスの透過率の測定が可能です。
また、混合ガスから個々の成分の透過率の同時測定も可能です。