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TG301CD アンペール社・複合真空計 （BA型 ＋ ピラニ）
アンペール複合真空計・TG301CDは、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能です。ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、グリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので汚染環境でも感度低下が少なく高精度で測定することが可能です。
【主な仕様 】
測定範囲: 1E-8Pa ～ 1.2E+5Pa / ピラニゲージ=0.1 Pa ～ 1.2E+5Pa / BAゲージ=1E-8Pa ～ 10Pa
入力電源: DC24V, 0.8A
消費電力: 最大 = 19.2W（BAゲージ起動時） / 測定時 = 6W（BAタ測定・タフモードON時）
測定フィラメント: ピラニゲージ = ニッケル（1本） / BAゲージ = イットリアコート・イリジウム（1本）
エミッション電流: 42μA、2.5ｍA 自動切換え
タフモード: BA測定子のグリッドとコレクタを加熱しながら計測し電極汚染を防止する機能 / OFF・Low(300℃・Mid(500℃)・Hi（700℃）の変更可能
デガスモード: グリッドとコレクタを900℃に通電加熱 （2分間）
出力信号: アナログ圧力0-10V x 1ch / セットポイント接点 x 2ch / アラーム接点x 1ch
入出力コネクタ: Dsub15ピン （電源、信号共用）
外部通信: RS232C
接続フランジ: NW25、ICF70
重量: 約550ｇ
オプション: 表示機（SGD100 又は、TGD100）
【主な仕様 】
測定範囲: 1E-8Pa ～ 1.2E+5Pa / ピラニゲージ=0.1 Pa ～ 1.2E+5Pa / BAゲージ=1E-8Pa ～ 10Pa
入力電源: DC24V, 0.8A
消費電力: 最大 = 19.2W（BAゲージ起動時） / 測定時 = 6W（BAタ測定・タフモードON時）
測定フィラメント: ピラニゲージ = ニッケル（1本） / BAゲージ = イットリアコート・イリジウム（1本）
エミッション電流: 42μA、2.5ｍA 自動切換え
タフモード: BA測定子のグリッドとコレクタを加熱しながら計測し電極汚染を防止する機能 / OFF・Low(300℃・Mid(500℃)・Hi（700℃）の変更可能
デガスモード: グリッドとコレクタを900℃に通電加熱 （2分間）
出力信号: アナログ圧力0-10V x 1ch / セットポイント接点 x 2ch / アラーム接点x 1ch
入出力コネクタ: Dsub15ピン （電源、信号共用）
外部通信: RS232C
接続フランジ: NW25、ICF70
重量: 約550ｇ
オプション: 表示機（SGD100 又は、TGD100）
CCTG200 アンペール社・冷陰極型真空計 （正マグネトロン型）
アンペールコールドカソードタフゲージ・CCTG200Cは、正マグネトロン型冷陰極を採用しておりセラミック製カソードを加熱しながら測定致しますので汚染・腐食性ガスの雰囲気でも長時間の使用が可能となります。バイアス電圧の最適制御回路により高い圧力では自動的に低いバイアス電圧に下げてカソードの劣化を防ぎ、低い圧力では逆に高いバイアス電圧で動作させますので不安定な放電や放電停止を防ぎます。
又、ピラニゲージを接続するコンビネーションモード機能を備えており大気から超高真空までの測定も可能です。
【主な仕様 】
測定範囲: 1E-8Pa ～ 0.1 Pa （ICF70フランジ使用時）
入力電源: DC24V, 1A
消費電力: 最大 = 24W（デガス+ピラニゲージ接続時） / 測定時 =2.7W（500℃タフモード時）
漏洩磁束: ケース面で100ガウス以下
バイアス電圧: 3KVから500Vで最適制御
タフモード: カソードを加熱しながら計測し汚染を防止する機能 / OFF・Low(300℃・Mid(500℃)・Hi（700℃）の変更可能
デガスモード: カソードを700℃に通電加熱 （2分間）
画面表示: 7セグ表示灯（4桁） （表示：PWR、ST、SP1、SP2）
入出力コネクタ: PCRコネクタ （電源、信号共用） ピラニ接続コネクタ：HR10
外部通信: RS232C通信（PCRコネクタ）
接続フランジ: NW25、ICF70
重量: NW25 = 800ｇ / ICF70 = 1,100ｇ
オプション: 表示機（SGD100 又は、TGD100）
又、ピラニゲージを接続するコンビネーションモード機能を備えており大気から超高真空までの測定も可能です。
【主な仕様 】
測定範囲: 1E-8Pa ～ 0.1 Pa （ICF70フランジ使用時）
入力電源: DC24V, 1A
消費電力: 最大 = 24W（デガス+ピラニゲージ接続時） / 測定時 =2.7W（500℃タフモード時）
漏洩磁束: ケース面で100ガウス以下
バイアス電圧: 3KVから500Vで最適制御
タフモード: カソードを加熱しながら計測し汚染を防止する機能 / OFF・Low(300℃・Mid(500℃)・Hi（700℃）の変更可能
デガスモード: カソードを700℃に通電加熱 （2分間）
画面表示: 7セグ表示灯（4桁） （表示：PWR、ST、SP1、SP2）
入出力コネクタ: PCRコネクタ （電源、信号共用） ピラニ接続コネクタ：HR10
外部通信: RS232C通信（PCRコネクタ）
接続フランジ: NW25、ICF70
重量: NW25 = 800ｇ / ICF70 = 1,100ｇ
オプション: 表示機（SGD100 又は、TGD100）
SGH701C アンペール社・ヌード型複合真空計 （B-A型 ＋ ピラニ）
アンペールSGH701C・ヌード型複合型真空計は、装置への組み込みを簡素化した装置組込み型の真空計でピラニゲージを同時に最大3個組み込むことが可能です。B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能です。ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、アンペール社の特許技術でありますグリッド及びコレクタを常時加熱した計測をオプションとして用意しており汚染環境でも感度低下が少なく高精度で測定することが可能です。
【主な仕様 】
測定範囲： 1E-8Pa ～ 1E+5Pa / ピラニゲージ = 0.1 Pa ～ 10E+5Pa / BAゲージ = 1E-8Pa ～ 10Pa
入力電源: DC24V ±10% Max : 30W（デガス時 /ピラニ3式使用時）
測定フィラメント: ピラニゲージ = ニッケル（1本） / BAゲージ = イットリアコート・イリジウム（1本）
エミッション電流: 42μA、2.5ｍA 自動切換え
測定子の許容温度： 250℃
タフモード: B-A測定子のグリッドとコレクタを加熱しながら計測し電極汚染を防止する機能 / OFF・Low(300℃・Mid(500℃)・Hi（700℃）の変更可能
デガスモード: グリッドとコレクタを900℃に通電加熱 （2分間）
出力信号: アナログ圧力0-10V x 1ch / セットポイント接点 x 2ch / アラーム接点x 1ch
入出力コネクタ: Dsub15ピン （電源、信号共用）
外部通信: RS232C （オプション：RS485）
接続フランジ: ICF70
【主な仕様 】
測定範囲： 1E-8Pa ～ 1E+5Pa / ピラニゲージ = 0.1 Pa ～ 10E+5Pa / BAゲージ = 1E-8Pa ～ 10Pa
入力電源: DC24V ±10% Max : 30W（デガス時 /ピラニ3式使用時）
測定フィラメント: ピラニゲージ = ニッケル（1本） / BAゲージ = イットリアコート・イリジウム（1本）
エミッション電流: 42μA、2.5ｍA 自動切換え
測定子の許容温度： 250℃
タフモード: B-A測定子のグリッドとコレクタを加熱しながら計測し電極汚染を防止する機能 / OFF・Low(300℃・Mid(500℃)・Hi（700℃）の変更可能
デガスモード: グリッドとコレクタを900℃に通電加熱 （2分間）
出力信号: アナログ圧力0-10V x 1ch / セットポイント接点 x 2ch / アラーム接点x 1ch
入出力コネクタ: Dsub15ピン （電源、信号共用）
外部通信: RS232C （オプション：RS485）
接続フランジ: ICF70
